X-Y 스테이지의 위치 결정

수직·수평 위치 측정

스테이지에 설치되어 있는 기준점에 접촉하여 위치를 간접적으로 측정합니다. 넓은 측정 범위가 필요한 경우에는 롱 스트로크 타입(50 mm)을 사용합니다.

이점: 스케일 쇼트 시스템은 온도 변화의 영향을 받지 않습니다. 가동부에 장착된 굴곡 케이블은 2000만 회를 구부려도 단선되지 않으므로 안심하고 사용하실 수 있습니다. 또한 펄스 출력 앰프도 선택 사양으로 라인업에 포함되어 있습니다.