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솔루션
마운터 헤드의 진동이나 편차를 검출합니다.
와전류 변위 센서로 고속 제어와 감시가 가능하므로 디바이스의 성능이 향상됩니다.
서브 미크론의 분해능과 초당 40,000 샘플링의 초고속 샘플링 속도를 지닌 고속, 고정도, 디지털 와전류식 변위 센서.
비철금속도 측정. ALL-METAL 대응의 와전류식 변위 센서
고정도•일반형 와전류식 변위 센서