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솔루션
대상 물체에 접촉하지 않고 나노 미터의 분해능으로 두께를 측정할 수 있습니다.
고정도로 5μm의 두께나 다층 필름을 측정할 수 있습니다.
마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
