서셉터의 편심 측정

Eccentricity measurement of a susceptor

반도체 제조

비정상적인 편심이 발생하면 균일하지 않은 부품이 생산됩니다.

이점

고속 샘플링과 고정도 측정으로 사이클 타임을 향상시킬 수 있습니다.

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