서셉터의 편심 측정

Eccentricity measurement of a susceptor

반도체 제조

비정상적인 편심이 발생하면 균일하지 않은 부품이 생산됩니다.

이점

고속 샘플링과 고정도 측정으로, 동일한 품질을 유지하면서 사이클 타임을 단축할 수 있습니다.

초고속·고정도 레이저 변위 센서