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솔루션
정확한 측정이 가능하므로 도포 위치를 제어할 수 있습니다.
투광기와 수광기가 분리된 구조의 레이저 변위 센서이므로, 노즐을 최대한 기판 바로 아래 근접 시킬수 있습니다.
초고속·고정도 레이저 변위 센서