웨이퍼의 노치 위치 검출

Position detection of wafer notches

비전 시스템은 웨이퍼 노치의 회전 위치를 감지합니다.

500만 화소의 고해상도 카메라와 트렌드 에지 스테인 툴의 알고리즘에 의해, 노치의 안정된 검출뿐만 아니라 위치·치수 데이터의 출력도 가능해졌습니다.

이점

200만 화소 카메라를 사용해서 노치의 위치를 검출하면 반복성이 떨어지지만, 500만 화소 고속 카메라 XG시리즈의 신 트렌드 에지 스테인 모드를 사용하면 노치를 안정적으로 검출할 수 있습니다.

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