라지 스테이지 IM-X1540

IM-X1540 - 라지 스테이지

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

사양

모델			IM-X1540
종류			스테이지 유닛
사용 헤드			IM 헤드, LM 헤드
측정 범위 (X × Y)	이미지 측정	광시야 모드 [mm]	IM 헤드: 500 × 400, LM 헤드: 425 × 325
		고정밀 모드 [mm]	IM 헤드: 425 × 325, LM 헤드: 406 × 306
	AF 높이 [mm]		IM 헤드: —, LM 헤드: 400 × 300
	레이저 높이 [mm]		IM 헤드: 368 × 268, LM 헤드: 396 × 239
	터치 프로브 [mm]		IM 헤드: 346 × 296, LM 헤드: 350 × 296
Z 스테이지	이동 범위 [mm]		200
측정 정밀도	X·Y축 (EUX, MPE EUY, MPE)		1.8+0.02 L µm ^1 ^2
	X·Y 평면 (EUXY, MPE)		2.8+0.02 L µm ^1 ^2
	Z축 (EUZ, MPE)		3.8+0.04 L µm ^3 ^4
내하중			15 kg ^*5
정격	전원 전압		24 VDC
	소비 전류		7.5 A
내환경성	사용 주위 온도		+10~35℃ ^*6
중량			70 kg
^1 ISO10360-7 참고, 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때, L은 XY 스테이지 이동량 (mm) ^2 터치 프로브 측정 시에는 ISO10360-2 참고, X·Y축 2.8+0.02 L µm, XY 평면 3.8+0.02 L µm ^3 ISO10360-7 참고, 터치 프로브 측정 시에는 ISO10360-2 참고, 사용 주위 온도 +23±1℃, KEYENCE 기준 대상 물체, 측정 대상 물체의 최대 높이 설정 62 mm 이하일 때, L은 Z 스테이지 이동량 (mm) ^4 측정 대상 물체 최대 높이 62 mm를 초과할 때는 3.8+0.08 L µm ^5 XY 스테이지 이동 속도 120 mm/s일 때는 5 kg ^6 XY 스테이지 이동 속도 120 mm/s일 때는 +15~35℃