광시야 IM 헤드 IM-XC100

IM-XC100 - 광시야 IM 헤드

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

IM-XC100

종류

헤드

이미지 측정

시야

광시야 모드 [mm]

ø100

고정밀 모드 [mm]

25 × 25

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정밀도

시야 내 (2σ)

광시야 모드

1 µm

고정밀 모드

0.5 µm

측정 정밀도

광시야 모드

3.5 µm *1

고정밀 모드

1.8 µm *2

레이저 높이

기준 거리

반복 정밀도

스폿 직경

직선성

레이저 등급

터치 프로브

반복 정밀도

측정력

AF 높이

반복 정밀도

조명 시스템

투과

녹색 LED, 텔레센트릭 투과 조명

낙사

컬러 LED, 백색 LED 4분할 멀티 앵글 조명 (전동)

녹색 LED, 슬릿 링 (지향성) 측사 조명 (전동)

백색 LED 동축 조명 (선택 사양)

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃ *3

중량

10 kg

*1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*2 20 × 20 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*3 XY 스테이지 이동 속도 120 mm/s일 때는 +15~35℃

데이터 시트 (PDF) 기타 모델