광시야 IM 헤드 IM-XC100TL

모델

IM-XC100TL

종류

헤드

이미지 측정

시야

광시야 모드 [mm]

ø100

고정밀 모드 [mm]

25 × 25

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정밀도

시야 내 (2σ)

광시야 모드

1 µm

고정밀 모드

0.5 µm

측정 정밀도

광시야 모드

3.5 µm ^*1

고정밀 모드

1.8 µm ^*2

레이저 높이

기준 거리

70 mm

반복 정밀도

σ ≦ 0.6 µm

스폿 직경

ø50 µm

직선성

±2 um^*3

레이저 등급

Class 1

터치 프로브

반복 정밀도

±1 µm

측정력

0.015 N ^*4

AF 높이

반복 정밀도

—

조명 시스템

투과

녹색 LED, 텔레센트릭 투과 조명

낙사

컬러 LED, 백색 LED 4분할 멀티 앵글 조명 (전동)

녹색 LED, 슬릿 링 (지향성) 측사 조명 (전동)

백색 LED 동축 조명 (선택 사양)

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃ ^*5

중량

12 kg