전자동 이미지 치수 측정기
IM-X1000 시리즈
고배율 LM 헤드 LM-XC100T
사양
모델 | LM-XC100T | |||
종류 | 헤드 | |||
이미지 측정 | 시야 | 광시야 모드 [mm] | 25 × 25 | |
고정밀 모드 [mm] | 6 × 6 | |||
최소 표시 단위 | 0.1 µm | |||
반복 정밀도 | 시야 내 (2σ) | 광시야 모드 | 0.5 µm | |
고정밀 모드 | 0.1 µm | |||
측정 정밀도 | 광시야 모드 | 1.8 µm *1 | ||
고정밀 모드 | 0.7 µm *2 | |||
레이저 높이 | 기준 거리 | — | ||
반복 정밀도 | ||||
스폿 직경 | ||||
직선성 | ||||
레이저 등급 | ||||
터치 프로브 | 반복 정밀도 | ±1 µm | ||
측정력 | 0.015 N *3 | |||
AF 높이 | 반복 정밀도 | ±2 µm | ||
조명 시스템 | 투과 | 녹색 LED, 텔레센트릭 투과 조명 | ||
낙사 | 컬러 LED, 백색 LED 4분할 멀티 앵글 조명 (전동) | |||
녹색 LED, 슬릿 링 (지향성) 측사 조명 (전동) | ||||
백색 LED, 텔레센트릭 동축 조명 | ||||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +10~35℃ *4 | ||
중량 | 10 kg | |||
*1 20 × 20 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때 | ||||
