3D 백색 간섭 변위 센서 WI-5000 시리즈

8만 점의 높이를 단 0.13초만에 고정도 측정

WI-5000 시리즈 - 3D 백색 간섭 변위 센서

백색 간섭 원리로 고속·고정도 3D 측정을 실현. 단차/체적부터 폭/면적까지 다양한 측정에 대응합니다.

비접촉 인라인 거칠기 측정

면으로 순식간에 측정하는 높이 측정기, 3D 백색 간섭 변위 센서 「WI-5000 시리즈」. 선 거칠기부터 면 거칠기까지 인라인에서 측정할 수 있습니다.

  • 인라인 면 거칠기 측정(Sa·Sz)
  • 인라인 선 거칠기 측정(Ra·Rz)

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특징

점도, 선도 아닌 "면"을 이용한 측정

최대 10×10 mm의 측정 에어리어에서 8만 점의 높이 데이터를 순식간에 취득. 백색 간섭 원리를 통해 재질·색, 사각(死角)의 영향 없이 미크론 단위의 고정도 측정을 실현합니다.

인라인에서 고속 전수 검사를 실현

다점 측정을 위해서는 대상 물체를 고정도 및 고속으로 스캔해야 하는데 스테이지 이동에 시간이 걸리기 때문에 전수 검사가 어려웠습니다. WI-5000 시리즈는 면으로 일괄 측정하기 때문에 측정 시간이 크게 단축되어 전수 검사가 가능합니다.

오프라인에서 검사 공정 수 대폭 절감

오프라인 검사에서 사용할 수 있도록 센서 헤드를 고정시킬 수 있는 전용 스탠드가 준비되어 있습니다. 검사 공정 수를 절감할 수 있는 다양한 기능이 탑재되어 있어 간단한 측정부터 데이터 저장까지 다양한 상황에서 작업 효율을 개선할 수 있습니다.