광학 유닛 (진공·내열 20 mm 타입) CL-V020N

CL-V020N - 광학 유닛 (진공·내열 20 mm 타입)

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

소프트웨어

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

CL-V020N

종류

광학 유닛

헤드

CL-V020 *1

기준 거리

20 mm

표준측정 범위

측정 범위

±1.3 mm

직선성

±0.45 μm *2

고정도측정 범위

측정 범위

±0.5 mm

직선성

±0.38 μm *2

분해능

0.25 μm *3

스폿 직경

φ20 μm

레이저 등급

광학 유닛

1등급

샘플링 주기

100/200/500/1000 μs(4단 가변)

내환경성

보호 구조

헤드

IP40 진공용 탈기 구조 *4

사용 주위 조도

물체면 조도 30000 lux(백열등)

사용 주위 온도

헤드

-20~200℃

광학 유닛

0~50℃

사용 주위 습도

85%RH 이하(결로되지 않을 것)

내진동

헤드

10~57 Hz 복진폭 1.5 mm X, Y, Z 각 방향 2시간

광학 유닛

10~57 Hz 복진폭 0.3 mm X, Y, Z 각 방향 2시간

내충격

15 G 6 ms

진공

초고진공 대응*5

온도 특성

헤드

0.013% of F.S. /℃

광학 유닛

0.015% of F.S. /℃

재질

헤드

SUS304

광학 유닛

폴리카보네이트

중량

헤드

약 100 g

광학 유닛

약 1600 g

*1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다.
*2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다.
*3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384회 측정한 값입니다.
*4 부속 스티커를 붙이면 IP50에 상응합니다
*5 10^-6 Pa 환경에서 동작 검증 완료.

데이터 시트 (PDF) 기타 모델