프리 앵글 관찰 시스템 (XYZ 전동) VHX-S650E

VHX-S650E - 프리 앵글 관찰 시스템 (XYZ 전동)

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

  • CE Marking
  • CSA

사양

모델

VHX-S650E

XYθ 스테이지

XY 스테이지 전동/수동

전동

XY 스테이지 이동량

±20 mm

θ 회전각

±90도

XYθ 스테이지 사이즈

윗면 171×168 mm (중앙 원판 ø100)

투과 조명 관찰 대응 배율

20배 이상

Z 스테이지

Z 스테이지 전동/수동

전동

Z 자동 스테이지 모터

5상 스테핑 모터

Z 자동 스테이지 이동 속도

17 mm/sec(최대)

Z 스테이지 이동량

49 mm

적재 하중

5 ㎏

XYθ 스테이지

XY 자동 스테이지 모터

2상 스테핑 모터

XY 자동 스테이지 분해능

1 µm(typ.)

XY 자동 스테이지 이동 속도

10 mm/sec(최대)

Z 스테이지

Z 자동 스테이지 분해능

0.1 µm(typ.)

전원

전원 전압

100-240 VAC 50/60 Hz

소비 전력

60 VA

데이터 시트 (PDF) 기타 모델