헤드부 VK-X3100

모델

VK-X3100

종류

헤드부

종합 배율

42~28800배^*1

시야 범위

11~7398 μm

측정 원리

레이저 공초점, 포커스 바리에이션, 백색 간섭, 분광 간섭

레이저 광원 파장

반도체 레이저 404 nm

최고 레이저 측정 속도

면: 125 Hz, 선: 7900 Hz^*2

레이저 최대 출력

0.9 mW

레이저 등급

2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1)

레이저 수광 소자

16 bit 센싱 포토멀티플라이어

백색 광원

백색 LED

백색광 수광 소자

초고해상도 컬러 CMOS

레이저 공초점

높이 표시 분해능

0.1 nm

높이 반복 정도 σ

10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm

높이 정확도

0.2+L/100 μm 이하^*3

폭 표시 분해능

0.1 nm

폭 반복 정도 3σ

10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm

폭 정확도

측정값의 ±2% 이내^*3

포커스 바리에이션

높이 표시 분해능

0.1 nm

높이 반복 정도 σ

5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm

높이 정확도

0.2+L/100 μm 이하^*3

폭 표시 분해능

0.1 nm

폭 반복 정도 3σ

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm

폭 정확도

측정값의 ±2% 이내^*3

백색 간섭

높이 표시 분해능

0.01 nm

폭 표시 분해능

0.1 nm

Surface Topography Repeatability

0.08 nm^*4

Repeatability of RMS

0.008 nm^*4

분광 간섭 막 두께 측정

반복 정도 σ

0.1 nm^*4

정확도

±0.6%^*4

광학 관찰

화소 수

560만

리볼버

6마운트 전동 리볼버

링 조명 대응 렌즈

2.5×, 5×, 10×

광학 줌

1~8배

XY 스테이지 구성

수동 가동 범위

70×70 mm

전동 가동 범위

100×100 mm

전원

전원 전압

100~240 VAC, 50/60 Hz

소비 전력

150 VA

내환경성

사용 주위 온도

+15~28℃

사용 주위 습도

20~80%RH(결로되지 않을 것)

중량

약 13 kg