형상 측정기 / 거칠기 측정기
제품 라인업
원 샷 3D 형상 측정기 「VR-6000 시리즈」는 거칠기 측정기·윤곽 형상 측정기의 계측을 있는 그대로 비접촉으로 실현합니다. 프로브 방식으로는 측정할 수 없는 면 전체의 형상을 0.1 µm의 분해능으로 포착하는 3D 형상 측정기입니다. 뿐만 아니라 전동 회전 유닛도 새롭게 탑재하고 있으므로 샘플을 회전시키면서 측정하여 사각을 없앤 있는 그대로의 단면 형상을 재현할 수 있습니다. 지금까지는 절단을 통해서만 정확하게 측정할 수 있었던 부분의 두께나 깊은 부분의 치수를 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 HDR 스캔 알고리즘에 의해 스캔 능력이 향상되었기 때문에, 광학식 형상 측정기로는 측정하기 어려웠던 광택이 있는 대상 물체나 빛 반사가 약한 소재인 대상 물체도 순식간에 최적의 조건을 판단하여 정확하게 형상을 측정할 수 있습니다. 다이내믹 레인지를 기존 대비 최대 1000 배까지 확대한 스캔을 할 수 있습니다.
백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 VK-X4000 시리즈는 레이저 공초점, 백색 간섭, 포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 통합한 '트리플 스캔 방식'을 탑재했습니다. 이를 통해 다양한 대상물을 높은 정밀도로 측정하고 분석할 수 있습니다. 또한, 경면체나 투명체와 같이 측정이 까다로운 소재도 고속·고정밀로 광범위하게 측정할 수 있습니다. 뿐만 아니라, 새롭게 탑재된 '멀티 포인트 측정 기능'은 복잡한 설정 없이 여러 지점의 측정을 완전 자동으로 수행합니다. 이 기능을 통해 누구나 간단하게 다점 측정을 자동화할 수 있습니다. 결과적으로 작업 시간은 단축하면서 측정 포인트 수는 늘려, 연구 개발의 객관적인 평가와 신뢰성을 한층 더 향상시킬 수 있습니다.
