고정도·고속 센싱 이오나이저 SJ-Q 시리즈

NEW 확실한 제전 능력을 계속 유지

  • 유지 보수 불필요
  • 제전 속도 0.1초
  • 이온 밸런스 ±3 V

SJ-Q 시리즈 - 고정도·고속 센싱 이오나이저

고정도·고속 센싱 이오나이저 「SJ-Q 시리즈」는 기존 대비 10배의 제전 능력(이온 밸런스 ±3 V, 제전 속도 0.1초)을 실현합니다. 또한 기존 이오나이저의 과제였던 전극침의 마모로 인한 리스크 및 청소로 인한 공정 수를 대폭 절감합니다. 기존에는 전극침을 1~2년에 한 번씩 교체해야 했지만, SJ-Q 시리즈는 10년 동안 교체할 필요가 없으며, 2~4주에 한 번 실시해야 했던 전극침 청소 또한 1년 동안 실시하지 않아도 됩니다. 이로 인해, 이오나이저에 드는 운용 비용을 대폭 절감할 수 있습니다. SJ-Q 시리즈는 세계 최초로 Inside Supersonic 구조를 탑재함으로써 정전기 대책의 상식을 바꾸었습니다.

용도

  • EFEM에서의 제전

  • 기판 반송 시의 제전

  • 수평형 필로우 포장 시의 제전

  • 컵라면 반송 시의 제전

용도

특징

유지 보수 불필요

10년간 전극침의 교체 불필요

전극침이 마모되어도 확실하게 제전하며, Hi-Power I.C.C.를 통해 이온 발생 상황을 실시간으로 모니터링합니다.
마모에 따라 인가 전압을 자동으로 승압합니다.

가동 기간과 제전 시간

왼쪽: 새로운 전극침
오른쪽: 마모된 전극침

1년간 전극침의 클리닝 불필요

전극침이 오염되어도 확실하게 제전합니다.
Supersonic 에어가 전극침과 동일한 축에서 감싸듯이 분사되기 때문에 외부 에어에 의한 오염 물질이 부착되지 않습니다.

Inside Supersonic 구조

왼쪽: 새로운 전극침
오른쪽: 오염된 전극침

10년간 사용할 경우의 운용 비용

* 121.4원/kWh로 산출한 1년간의 전기 요금. SJ-Q108에 0.5 MPa의 CDA를 공급할 때와 기존의 SJ-H108에 0.5 MPa의 CDA를 공급할 때의 비용을 시뮬레이션하여 비교. (10년간)

이오나이저에 필요한 공장 에어 비용 예

전극침의 교체 비용 예

전극침 청소에 소요되는 공정 수 예

세계 최초 제전 속도 0.1초

Inside Supersonic 구조를 적용하여 기존보다 고속으로 제전할 수 있습니다.
제전 시간의 단축뿐만 아니라 기존에는 2대가 필요했던 고속 반송 물체도 단 1대로 처리할 수 있습니다.

일반적인 이오나이저

필요한 이온이 도달하지 않음

  • 1
    느린 에어
  • 2
    중화되어 사라지는 이온

SJ-Q 시리즈

초고속 동축 에어

필요한 이온을 전달

  • 1
    Inside Supersonic 구조
  • 2
    빠른 에어
  • 3
    중화되지 않고 대상 물체에 도달하는 이온

세계 최초 이온 밸런스 ±3 V

전극침의 전계 영향을 억제하고 스윙 전압을 극소화했습니다.
이온 밸런스가 기존 대비 10배 향상되어 고정도 제전을 실현하며, 정전 파괴 트러블이나 이물질 부착 리스크를 최대한 억제합니다.

일반적인 이오나이저

전계로 인해 대상 물체의 전압이 변동

  • 1
    전계가 대상 물체에 영향을 미침

SJ-Q 시리즈

전계 차폐 기술

전계가 없으므로 변동이 거의 없음

  • 1
    Inside Supersonic 구조
  • 2
    전계를 가둠
  • 3
    GND판