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이미지 치수 측정 시스템IM-7000 시리즈

컨트롤러

IM-7000

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사양

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모델

IM-7000*1

종류

컨트롤러

촬상 소자

1인치 660만 화소 흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치 LCD 모니터(XGA: 1024×768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드: 200×200 mm(4모서리 R50)
고정도 측정 모드: 125×125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

스테이지 이동 없음

광시야 측정 모드: ±1 µm
고정도 측정 모드: ±0.5 µm

스테이지 이동 있음

광시야 측정 모드: ±2 µm
고정도 측정 모드: ±1.5 µm

측정 정도 ±2σ

연결 없음

광시야 측정 모드: ±5 µm*2
고정도 측정 모드: ±2 µm*3

연결 있음

광시야 측정 모드: ±(7+0.02L) µm*4
고정도 측정 모드: ±(4+0.02L) µm*5

라이트 프로브 측정

측정 가능 영역(XY)

90×90 mm

최대 측정 깊이

30 mm

라이트 프로브 직경

ø3 mm

측정력

0.015 N

반복 정도

±2 µm*6

측정 정도

±(8+0.02L) µm*7

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하 24 VDC 0.5 A
ON 저항 50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB2.0 시리즈 A

6포트(앞면:2포트/뒷면:4포트)

메모리

하드 디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 링 조명(IM-7010)
4분할 멀티 앵글 조명(전동), 슬릿 링(지향성) 조명(전동) (IM-7020)

XY 스테이지

이동 범위

100×100 mm(전동)

내하중

5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC 50/60 Hz

소비 전력

430 VA 이하

*1 라이트 프로브 측정(IM-7020)
*2 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*3 ø20 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때
*4 180×180 mm(4모서리 R40)의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 L은 스테이지 이동량(mm)
*5 120×120 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 L은 스테이지 이동량(mm)
*6 검출 방법이 표준일 때 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±3 µm
*7 검출 방법이 표준, 사용 주위 온도 23℃±1℃, 스테이지 적재 중량 2 kg 이하일 때 검출 방법이 깊은 위치용일 때는 ±(10+0.02L) µm L은 측정 길이(mm)

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