마이크로미터 / 2차원 치수 측정기

대상 물체가 투광부와 수광부 사이를 지나갈 때 치수를 측정하는 측정기입니다. 투광부 및 수광부에 고기능 텔레센트릭 렌즈를 채택하여 시야 전체의 왜곡을 최소한으로 억제합니다. 구동부가 없어 수명이 길며 내구성이 높은 LED 광원의 평행광만 수광합니다. 따라서 오랜 기간 안정적으로 고정도 측정을 실시할 수 있습니다.

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제품 라인업

TM-X5000 시리즈 - 인라인 투영 이미지 측정기

인라인 투영 이미지 측정기 TM-X5000 시리즈는 라인을 정지시키지 않고도 대상 물체의 실루엣을 포착하여 고속으로 정확한 측정을 실현합니다. 투광 측·수광 측 모두 텔레센트릭 광학계를 채택하여 에지를 선명하게 촬상하므로 대상 물체의 위치가 어긋나도 정도의 변화 없이 피사계 심도 최대 ±20mm의 사양을 보증합니다. 왜곡이 적은 저디스토션 렌즈와 독자적인 알고리즘으로 조명·대상 물체의 위치 조정 및 캘리브레이션이 필요 없으며, 교정 증명서도 발행할 수 있습니다. 조합이 100가지를 넘는 다양한 측정을 실현하는 툴이 준비되어 있어, 치수 측정·기하 공차 측정·마스터 비교·이물질 거리 측정 등 인라인 검사에 필요한 항목을 간단한 설정만으로 대응합니다.

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LS-9000 시리즈 - 초고속·고정도 마이크로미터

대상 물체의 정렬 불량 및 진동을 자동으로 교정하는 새로운 고정밀 마이크로미터 시스템.

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TM-3000 시리즈 - 2차원 고속 치수 측정기

고속 및 고정도로 인라인 2차원 다점 치수 측정

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LS-7000 시리즈 - 고속·고정도 디지털 마이크로미터

0.01 마이크론의 고분해능, 초당 2400 샘플링의 빠른 성능을 가진 인텔리전트 광학 마이크로미터.

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IG 시리즈 - CCD 투과형 레이저식 판별 센서

현장에 가장 필요한 기능만을 엄선하여 뛰어난 금액 대비 성능을 실현한 고정도 센서 라인업. 이것이 인텔리전트 센서 「I시리즈」입니다.

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IB 시리즈 - 투과형 레이저식 판별 센서

현장에서 유용한 기능만을 장착하여 비용 대비 효과가 높은 고정도 센서를 라인업. 이것이 바로 인텔리전트 센서 「I 시리즈」입니다.

광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 투광부와 수광부 사이를 통과하는 대상 물체의 그림자(실루엣)를 포착하여 치수를 측정하는 장비입니다. 기존의 레이저 마이크로미터(Laser micrometers)와 달리, 고휘도 LED 광원, 텔레센트릭 렌즈(Telecentric lens), 고속 CMOS 센서를 사용하여 시야 전체를 이미지로 캡처합니다.
이러한 구조 덕분에 높은 정확도를 유지하기 위한 구동부나 재조정이 필요 없습니다.
광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 외경이나 실루엣(에지)의 위치 같은 1D 측정(1차원 측정)에 적합한 단축/다축 모델, 그리고 보다 유연한 측정을 위한 2D 모델(예: 텔레센트릭 측정 시스템)로 구성되어 있어 다양한 측정 환경에 대응할 수 있습니다.

광학 마이크로미터(Optical Micrometers)의 장점

고속 텔레센트릭 측정 시스템(Telecentric measurement systems)은 이동 중인 대상 물체의 투영 이미지를 즉시 캡처하여 여러 측정 포인트에 대한 치수 측정을 수행할 수 있습니다.
라인을 멈추지 않고도 측정할 수 있으므로 검사 시간을 획기적으로 단축시킬 수 있으며 생산 효율 또한 크게 향상시킬 수 있습니다.

고휘도 녹색 LED 광원, 텔레센트릭 광학계, 고감도 CMOS 센서를 조합한 TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기는, 빠르게 움직이는 대상 물체도 멈추지 않은 상태에서 선명하게 실루엣을 검출할 수 있으므로, 정확한 치수 측정이 가능합니다. 또한, 다양한 측정 요소를 조합하여 여러 개의 측정 포인트와 다양한 검사 항목을 동시에 처리할 수 있으며, 투영기와 같은 기존의 오프라인 전용 치수 측정 시스템과 달리 100% 인라인 전수 검사가 가능합니다. 처리 시간(택 타임)에 영향을 주지 않으면서도 품질 관리를 강화할 수 있다는 점이 큰 장점입니다.

기존의 투과형 변위 센서를 인라인 방식으로 사용할 경우, 이동 중인 대상 물체의 위치가 어긋나면 투영된 이미지가 흐려지거나 초점이 맞지 않아 측정 정확도가 떨어질 수 있습니다. 하지만 심도가 깊으면 이러한 문제를 해결할 수 있으며, 대상 물체의 위치를 크게 조정하지 않더라도 그림자(실루엣) 이미지를 선명하게 검출하여 안정적으로 측정할 수 있습니다.

TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기는 투광부와 수광부 모두 텔레센트릭 광학계를 적용하였으므로, 실물과 동일한 그림자(실루엣) 이미지를 검출할 수 있습니다.
대상 물체의 위치가 약간 어긋나더라도 ±15 mm의 깊은 심도를 통해 일관된 정밀도로 이미지를 검출할 수 있으며, 저 디스토션(왜곡) 렌즈와 독자적인 알고리즘을 통해 대상 물체의 위치 조정이나 조명 보정(캘리브레이션) 없이도 안정적으로 측정할 수 있습니다. 이로 인해 대상 물체의 정렬 오류로 인한 측정 오차 발생과 그에 따른 수율 저하를 사전에 방지할 수 있습니다.

외경 측정 시스템을 활용하면 와이어, 압출 성형 제품, 시트 등의 선형·막대형 대상 물체에 대한 인라인 치수 측정을 지속적으로 실시할 수 있습니다.
대상 물체가 이동하며 지속적으로 측정부에 노출됨으로써 끊김 없이 측정할 수 있으며, 이로 인해 검사나 결함의 누락 없이 안정적으로 품질을 관리할 수 있습니다.

외경 측정은 연속적으로 이루어져야 하며, 검사나 결함의 누락을 방지하기 위해서는 안정적인 측정이 필수입니다.
레이저 스캔 방식(Laser scanning systems)을 사용하는 기존의 투과형 광학 마이크로미터는 스캔 라인 경로에서 벗어난 미세한 대상 물체의 변화를 감지하지 못하기 때문에 검사 누락이 발생할 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, LS-9000 시리즈 초고속·고정도 마이크로미터 및 LS-7000 시리즈 고속·고정도 디지털 마이크로미터는 고휘도 녹색 LED 광원을 탑재하였으며, 노출 시간 동안 시야 전체를 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 일시적인 값의 변화나 검사의 누락 없이 정밀하게 측정할 수 있으며, 높은 정확도와 신뢰성을 확보할 수 있습니다.

1차원 광학 마이크로미터(1D Optical Micrometers)

녹색 LED 광원이 평행광(Collimated beams)의 형태로 균일하게 조사됩니다. 대상 물체가 이 빔을 가로막으면 수광부에 그림자(실루엣)가 형성되며, 이 그림자를 측정함으로써 대상 물체의 정확한 치수 측정이 가능합니다.

(A) 모니터 CMOS
대상 물체의 기울기를 실시간으로 추적하여, 기울기 값에 의한 오차를 자동으로 보정합니다.

(B) 고속 노광 CMOS
전용 설계된 측정용 CMOS로, 내장 증폭기를 통해 성능과 속도를 극대화합니다.

(C) 위치 측정 CMOS
투광부와 수광부 사이에서 대상 물체의 위치를 정밀하게 측정합니다.

(D) 고휘도 Green-LED
기존 LED 광원보다 오래 지속되며, 밝고 균일한 조명을 제공합니다.

(E) 고효율 집광 유닛
LED 광을 효율적으로 집광하여 측정 정밀도를 높입니다.

레이저 스캔 마이크로미터(Laser Scan Micrometers)

대상 물체를 스캔한 레이저 빔에서 생성된 밝은 영역과 어두운 영역의 시간차를 측정함으로써 외경 값을 산출합니다.

아래는 레이저 스캔 방식의 원리 도식입니다.

더블 텔레센트릭(Dual Telecentric)을 이용한 그림자(실루엣) 측정 시스템

투광부에서 녹색 LED를 이용한 평행광(콜리메이티드 라이트)을 조사하여 수광부에 위치한 CMOS 센서에 그림자(실루엣)를 투영합니다.
이 투영된 이미지를 기반으로 측정을 실시하며, 특히 TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기는 투광부와 수광부 모두 텔레센트릭 렌즈(Telecentric lens)를 탑재함으로써 안정적이고 정도 높은 측정을 실시할 수 있습니다.

(A) 투광부 텔레센트릭 렌즈

(B) 고휘도 InGaN 녹색 LED

(C) 수광부 텔레센트릭 렌즈

(D) 고감도·고해상도 CMOS 센서

광학 마이크로미터(Optical Micrometers)는 어떻게 작동하나요?

KEYENCE의 LS-9000 시리즈 초고속·고정도 마이크로미터 및 TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기와 같은 광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 빛을 이용하여 비접촉식으로 치수를 측정합니다.
이러한 광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 접촉식 측정 장비와 마찬가지로, 작은 단위의 치수도 높은 정밀도로 측정할 수 있습니다.
하지만 광원의 종류는 모델에 따라 다르며, 대부분의 시스템은 LED 등의 발광 소자가 빛이나 스캔 라인을 조사하고, 수광 센서가 이를 수신하는 구조로 되어 있습니다.

대상 물체가 빔의 내부로 들어오면 빛이 차단되거나 일부만 통과하게 되며, 이때 형성된 그림자(실루엣)를 분석하여 대상의 크기를 정밀하게 계산합니다. 이러한 비접촉 측정 방식은 민감하거나 연약한 소재에 대해 손상이나 변형 없이 비파괴 측정을 할 수 있다는 장점이 있으며, 빠르고 정확한 측정이 가능하다는 점에서도 큰 장점을 가집니다.

광학 마이크로미터(Optical Micrometers)가 활용되는 산업 분야

반도체 / 전자 산업(Semiconductor / Electronics)

반도체 및 전자 부품은 나노미터 단위의 정밀도가 요구됩니다.
광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 실리콘 웨이퍼, 칩 구조, 회로 간 간격 등을 높은 정밀도로 측정하는 데 사용됩니다.

자동차 산업(Automotive)

자동차 산업에서는 샤프트, 밸브, 엔진 피스톤 등 다양한 부품의 정밀한 측정과 품질 관리를 위해 광학 마이크로미터(Optical micrometers)를 활용합니다.
비접촉식 측정 장비는 엄격한 규격과 치수 공차(µm 단위)의 충족을 보장합니다.

항공 산업(Aircraft)

항공 산업에서는 정밀도가 무엇보다 중요하기 때문에, 항공기 부품 및 구성품의 생산 과정에서 레이저 마이크로미터(Laser micrometers)가 광범위하게 사용됩니다.
이 장비들은 설계자가 의도한 치수 공차 내에서 부품이 정확하게 제조되고 조립될 수 있도록 품질을 보장합니다.

의료 산업(Medical)

의료 장비를 생산할 때에는 엄격한 치수 규격뿐만 아니라 다양한 안전 기준을 충족해야 하며, 이러한 상황에서 비접촉식 측정 방식은 장비의 오염을 방지하는 데 매우 중요합니다. 광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 의료용 임플란트 및 정밀 기기에 사용되는 작고 정밀한 부품을 측정하는 데 활용됩니다.

정밀 공학 및 제조 산업(Engineering and manufacturing)

정밀 공학 및 제조 분야에서는 매우 엄격한 공차 기준을 가진 부품 제작이 필요합니다. 이 산업에서는 광학 마이크로미터(Optical micrometers) 및 비접촉식 측정 기술을 활용하여 특수 기계, 전자 부품, 심지어 악기 제작까지 다양한 응용 분야에 걸쳐 정밀 측정을 수행합니다.

재료 과학(Materials science)

마지막으로, 재료 과학 및 연구 개발 분야에서는 레이저 마이크로미터(Laser micrometers)를 사용하여 재료의 특성과 변화를 연구합니다.
이 장비는 온도나 압력 등 다양한 조건에서 발생하는 미세한 치수 변화를 정밀하게 측정할 수 있으므로, 재료의 수축과 팽창, 변형 등을 연구·분석하는 데 큰 도움이 됩니다.

광학 마이크로미터(Optical Micrometers)의 도입 사례

TIG 용접 로봇의 텅스텐 전극 팁 프로파일(형상) 검사

용접 로봇을 장시간 연속으로 작동시키면 전극 팁의 형상(각도나 휨 등)이 변형되어 용접 불량이 발생할 수 있습니다. 이를 방지하기 위해, 용접 로봇 부스에 TM-X5000 시리즈 텔레센트릭 측정 시스템을 설치합니다. 전극 팁에 가해지는 하중을 고려하여, 연속 용접 작업 50회마다 한 번씩 TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기의 투광 영역에 팁을 통과시키는 동작을 추가합니다. TM-X5000 시리즈 비접촉 치수 측정기는 대상 물체가 움직이고 있더라도 흐려지지 않는 이미지로 형상을 측정할 수 있어, 전극 형상의 변화를 정확히 포착할 수 있으며, 가공 시간에 미치는 영향을 최소화하면서 용접 불량을 예방할 수 있습니다. 이 시스템은 용접기 외에도 다양한 로봇과 자동화 기계의 공구 형상 검사에도 활용됩니다.

인젝터의 다지점 외경 측정

인젝터는 여러 부품을 조립하여 제작되기 때문에, 여러 지점에서 외경을 측정해야 합니다. 일반적인 외경 측정 시스템은 모든 포인트를 측정하기 위해 여러 장치를 설치하거나 측정 시스템을 이동시켜야 하므로 설치 비용이 높고 검사 처리 시간이 길어집니다. 또한 측정 시스템의 정확도를 보장하려면 이동 메커니즘에 대한 유지보수 작업을 해야 하며, 이를 위해서는 많은 시간과 노력이 소요됩니다. 텔레센트릭 측정 시스템(Telecentric measurement systems)은 시야 내 여러 포인트의 외경을 한 번에 측정할 수 있으며, 동심도 등의 여러 항목도 동시에 검사할 수 있습니다.

유리 기판(투명한 대상 물체)의 위치 결정

유리 기판과 같은 투명체의 정렬(얼라인먼트) 작업은 매우 높은 정밀도가 요구되며, 기존에는 비전 시스템을 통해서만 작업이 이루어졌습니다. 하지만 투명한 대상 물체는 빛을 통과시키기 때문에, 정확한 위치를 파악하기가 어려우며, 높은 수준의 정밀도를 유지하면서도 빠른 처리 속도를 확보하려면 복잡한 사전 정렬 및 보정(캘리브레이션) 작업이 필요했습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, LS-9000 시리즈 초고속·고정도 마이크로미터는 투명 대상 물체 전용 측정 모드를 제공합니다. LS-9000 시리즈 고속 광학 마이크로미터는 두 단계의 에지 검출 임계값 설정 기능을 통해, 얇은 유리 기판의 에지 형상을 안정적으로 인식할 수 있습니다. 덕분에 복잡한 설정을 하지 않더라도 간단한 애플리케이션만으로 정밀한 위치 측정과 정렬 작업이 가능하며, 생산 효율과 품질을 동시에 향상시킬 수 있습니다.

측정기・정밀 변위 센서 선택 방법 페이지에서는 자동차(차체·부품), 반도체, 의료 관련, 케이블/화이버, 철강·금속, 필름 및 시트, 전기·전자 부품 등 다양한 산업 분야에서 검증된 레이저 프로파일 센서(Laser profile sensors) 및 기타 레이저 변위 센서, 측정 시스템의 솔루션을 소개합니다.
또한 두께, 폭, 높이, 단차, 외경, 내경, 스트로크, 위치 결정, 편차, 편심, 흔들림, 진동, 형상, 프로파일, 3D 검사 등 측정 항목별로도 적용 사례를 확인하실 수 있습니다.

자세히 보기

광학 마이크로미터(Optical Micrometers)와 관련된 자주 있는 질문

인라인 투영 이미지 측정기 TM-X5000 시리즈는 노출 시간이 단 100 μs(0.1 ms)에 불과하여, 빠르게 이동하는 생산 라인을 멈추지 않고도 한 번의 촬영으로 최대 100개의 포인트를 동시에 측정할 수 있습니다. 100개 이상의 다양한 측정 요소를 제공하며, 이를 조합해 복잡한 형상의 외경, 폭, 높이, 반지름(R값)뿐만 아니라 나사산의 피치, 높이, 각도 등도 일괄적으로 측정할 수 있습니다.

TM-X5000 시리즈 인라인 투영 이미지 측정기는 직관적인 아이콘 기반 조작 방식으로 원하는 측정 항목을 손쉽게 설정할 수 있습니다. 기본 툴, 요소 툴, 보조 툴, 응용 툴, 기하공차 툴을 조합하여 다양한 도면 지시사항에 대한 인라인 검사가 가능합니다.

기하공차 툴에서는 다음과 같은 측정 항목을 선택할 수 있습니다.

- 형상 공차: 진직도, 진원도, 윤곽도
- 자세 공차: 직각도, 평행도
- 위치 공차: 동심도

제품 식별을 위한 마스터 비교와 외관 검사를 위한 이물질 간격 측정 등 인라인 검사에 필요한 다양한 측정을 지원합니다.

LS-9000 시리즈 초고속·고정도 마이크로미터 IP67 등급의 내환경 설계를 충족시키기 위해, 에어 퍼지 유닛이 기본적으로 장착되어 있으며, 증기, 먼지, 오염(오일, 미스트 등), 충격 및 온도 변화에 매우 강하여, 가혹한 환경에서도 안정적으로 외경을 측정할 수 있습니다. 설치 후에는 지속적인 노출을 통한 연속 측정이 가능하여 실시간으로 오류를 식별하고 빠르게 대응할 수 있으며, 공정 진행 중에 측정을 실시할 수 있으므로 후공정에서 대량의 불량이 발생하는 것을 방지하고 수율을 향상시킬 수 있습니다.

광학 및 레이저 마이크로미터(Optical / laser micrometers)는 높은 정밀도로 유명하며, LS-9000 시리즈 초고속·고정도 마이크로미터는 최소 0.08 mm(80 μm) 크기의 물체를 ±2 μm의 정확도로 감지할 수 있습니다. 일반적으로 최고급 광학/레이저 마이크로미터(Optical / laser micrometers)는 0.1 μm ~ 10 μm 수준의 정밀도를 보증하며, 이는 반도체 제조나 정밀 공학과 같은 정확한 치수 측정이 필수적인 산업에서 매우 유용합니다.

두 시스템 모두 정밀 측정에 사용되지만, 작동 원리와 적용 분야가 근본적으로 다릅니다.
광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 레이저 광원을 사용하여 대상 물체의 그림자(실루엣)를 수광부에 투사함으로써, 그림자의 크기를 측정합니다. 따라서 광학 및 레이저 마이크로미터(Optical / laser micrometers)는 빠르고 정확한 측정이 가능하며, 특히 고속 인라인 공정에 적합합니다.
반면에 백라이트 비전 시스템(Backlit vision systems)은 대상 물체의 뒷면을 조명으로 비추어 실루엣을 만들고, 이를 카메라로 촬영한 후 소프트웨어로 분석합니다. 이러한 시스템은 복잡한 2D 형상의 측정이나 품질 검사에는 적합하지만, 광학 마이크로미터(Optical micrometers)에 비해 매우 느리고 정확도도 떨어집니다.

레이저 마이크로미터(Laser micrometers)와 레이저 스캔 마이크로미터(Laser scan micrometers)는 모두 레이저를 이용한 정밀 측정 장비이지만, 측정 방식과 용도에서 차이가 있습니다.
레이저 마이크로미터(Laser micrometers)는 대상 물체의 전체 형상을 한 번에 측정할 수 있으므로 측정 속도가 매우 빠릅니다. 따라서 생산 라인에서 실시간으로 측정해야 하는 인라인 공정에 적합합니다. 반면에 레이저 스캔 마이크로미터(Laser scan micrometers)는 레이저 빔이 이동하며 스캔하는 방식으로 대상 물체의 형상 정보를 수집합니다. 이 방식은 복잡한 형상이나 표면을 측정할 때 미세한 형상 정보를 제공할 수 있다는 점에서는 유리하지만, 측정 속도가 상당히 느리고 기계적인 움직임이 많기 때문에 지속적인 유지 보수 작업이 필요합니다.

광학 마이크로미터(Optical micrometers)는 다양한 형태와 재질의 물체를 비접촉 방식으로 정밀하게 측정할 수 있는 장비로, 와이어, 배관, 튜브와 같은 원통형 물체는 물론, 유리나 금속 시트처럼 투명하거나 불투명한 평면 물체도 측정할 수 있습니다. 또한 전자 부품, 반도체 소재, 광섬유 등과 같이 손상이나 오염을 피해야 하는 민감한 제품에도 적합합니다.
다만, 측정하려는 대상 물체의 크기가 광학 마이크로미터(Optical micrometers)의 측정 범위 내에 해당하는지에 대해 사전에 반드시 확인해야 합니다.