마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
SI-F 시리즈
인텔리전트 컨트롤러
편리성과 사용의 편의성을 추구 인텔리전트 컨트롤러
6헤드 접속・동시 제어
메인 컨트롤러에 증설 컨트롤러를 접속하면 최대 6헤드의 동시 측정이 가능.
- 모든 헤드 동시 측정
-
여러 헤드에서 동기화 하여 동시에 측정합니다. 움직임이 있는 대상 물체의 여러 포인트 동시 측정 및 두께 측정 등 대상 물체를 센서 헤드에 끼워 사용할 때 고정도 측정에 효과적입니다.
멀티 연산 기능
여러 헤드 간의 측정값을 빠른 시간 내에 연산합니다. 기존에는 시퀀서나 PC에서 실시했던 복잡한 연산을 컨트롤러 내부에서 간단하게 설정할 수 있습니다.
- 기준 단차 측정
기준점과 각 측정점의 차이를 연산합니다. -
측정값1＝A-B,
측정값2＝A-C,
측정값3＝A-D･･･
- 상대 단차 측정
각 측정점 값의 차이를 연산합니다. -
측정값1＝A-B,
측정값2＝B-C,
측정값3＝A-C･･･
- 평탄도 측정
측정점 안에서 MAX값과 MIN값의 차이를 연산합니다. -
측정값1=
MAX(A, B, C･･･)- MIN(A, B, C･･･)･･･
- 휨 측정
지정한 측정점에서 휜 양을 연산합니다. -
측정값1＝B－(A＋C)/2･･･
- 다점 두께 측정
각 페어에서 두께 측정을 연산합니다. -
측정값1＝X－(A＋B),
측정값2＝Y－(C＋D),
측정값3＝Z－(E＋F)･･･
- 평균 높이 측정
지정한 측정점에서 면의 평균 높이를 연산합니다. -
측정값1＝Ave(A, B, C･･･)･･･
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