측정기의 종류
3D 레이저 변위 센서
백색 간섭 방식
광원에서 조사된 빛은 빔 스플리터에 의해 두 갈래로 나뉘어 하나는 대상 물체에서, 다른 하나는 참조 미러에서 각각 반사되어 수광 소자에 간섭광으로 입광됩니다. 간섭광은 서로의 광로 길이가 일치했을 때 최대의 간섭 강도가 됩니다. 모든 광학 부품을 일체화시킨 광학 유닛을 상하로 구동시켜 여러 장의 콘트라스트 화상을 취득하고, 이 화상에서 화소별 간섭 강도가 최대인 광학 유닛의 위치를 파악하여 대상 물체까지의 거리를 측정합니다.
