측정기의 종류
투과형 마이크로미터
Green-LED 투영 방식
- 【원리】
- Green-LED광을 균일한 평행광으로 조사하고, CMOS 상에 결상된 실루엣에서 명암의 에지 위치를 검출하여 외경 등의 측정값을 산출합니다.

(A) 모니터 CMOS | 대상 물체를 모니터하여 기울기 보정도 가능한 CMOS |
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(B) 고속 노광 CMOS | 적분 앰프를 하나의 칩에 집적시킨 전용 설계의 측정용 CMOS |
(C) 투수광 위치 측정 CMOS | 투광부와 수광부 간의 위치를 측정하는 CMOS |
(D) 고휘도 Green-LED | 「긴 수명」, 「고휘도」, 「광량 변화가 없다」 3가지 특징을 모두 갖춘 LED |
(E) 고효율 집광 유닛 | LED광을 효율적으로 집광하는 렌즈 유닛 |
레이저 스캔 방식
모터에 의해 회전하는 폴리곤 미러에 반도체 레이저를 조사하여 측정 범위를 스캔합니다.
대상 물체로 인해 차단된 레이저 광의 명암 시간 차를 측정하여 외경 등의 측정값을 구합니다.

더블 텔레센트릭 실루엣 방식
투광부에서 Green LED 평행광을 조사하고, 수광부에서 음영을 CMOS에 결상. 결상된 정보를 바탕으로 치수 등을 측정합니다. 투광 측·수광 측 모두 텔레센트릭 렌즈를 탑재하여 빛의 평행성을 극대화함으로써 높은 안정성과 정도를 실현합니다.

- A
- 투광 측 텔레센트릭 렌즈
- B
- 고휘도 InGaN 그린 LED
- C
- 수광 측 텔레센트릭 렌즈
- D
- 고감도·고해상도CMOS