측정기의 종류
투과형 마이크로미터
Green-LED 투영 방식
- 【원리】
- Green-LED광을 균일한 평행광으로 조사하고, CMOS 상에 결상된 실루엣에서 명암의 에지 위치를 검출하여 외경 등의 측정값을 산출합니다.
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(A) 모니터 CMOS | 대상 물체를 모니터하여 기울기 보정도 가능한 CMOS |
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(B) 고속 노광 CMOS | 적분 앰프를 하나의 칩에 집적시킨 전용 설계의 측정용 CMOS |
(C) 투수광 위치 측정 CMOS | 투광부와 수광부 간의 위치를 측정하는 CMOS |
(D) 고휘도 Green-LED | 「긴 수명」, 「고휘도」, 「광량 변화가 없다」 3가지 특징을 모두 갖춘 LED |
(E) 고효율 집광 유닛 | LED광을 효율적으로 집광하는 렌즈 유닛 |
레이저 스캔 방식
모터에 의해 회전하는 폴리곤 미러에 반도체 레이저를 조사하여 측정 범위를 스캔합니다.
대상 물체로 인해 차단된 레이저 광의 명암 시간 차를 측정하여 외경 등의 측정값을 구합니다.
![](/Images/ss_library_t_optical_003_1980767.gif)
더블 텔레센트릭 실루엣 방식
투광부에서 Green LED 평행광을 조사하고, 수광부에서 음영을 CMOS에 결상. 결상된 정보를 바탕으로 치수 등을 측정합니다. 투광 측·수광 측 모두 텔레센트릭 렌즈를 탑재하여 빛의 평행성을 극대화함으로써 높은 안정성과 정도를 실현합니다.
![](/Images/ss_library_t_optical_007_1993566.jpg)
- A
- 투광 측 텔레센트릭 렌즈
- B
- 고휘도 InGaN 그린 LED
- C
- 수광 측 텔레센트릭 렌즈
- D
- 고감도·고해상도CMOS