글라스 두께를 A사의 레이저 변위 센서로 측정했습니다. 패턴 면에서 수치가 급증하는 경우가 있어 검사 택 타임이 좀처럼 개선되지 않았습니다. KEYENCE의 레이저 변위 센서 CL 시리즈를 사용하니, 패턴 면에서의 수치 급증이 사라져 검사 택 타임을 개선할 수 있었습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 일반적인 레이저 변위 센서는 글라스 면과 패턴 면 사이의 반사율 차이로 인해 패턴 면에서 수치가 급증합니다. 레이저 변위 센서 CL 시리즈는 조사한 빛의 초점이 맞는 위치를 측정하는 멀티 컬러 공초점 방식이므로 대상 물체의 반사 광량 차이에 영향을 받지 않아 고정도로 측정할 수 있어 수치 급증의 영향을 최대한 줄일 수 있습니다.
투명한 다층 필름의 막 두께를 X선식 막 두께 측정기로 측정했습니다. 측정 스폿이 커서 두께 편차를 세밀하게 관리할 수 없습니다. KEYENCE의 분광 간섭식 레이저 변위 센서를 채택함으로써 필름 두께를 세밀하게 측정할 수 있어 토출 유량 및 압력, 이송 속도를 최적으로 제어하는 데 활용할 수 있었습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 막 두께 측정기 SI 시리즈는 φ30 μm의 소스폿으로 두께를 측정할 수 있으므로 에지 부분까지 정확하게 측정할 수 있습니다. 권취 형태 불량을 검출하거나 밴드 현상을 사전에 방지하는 데도 효과적입니다.
웨이퍼 두께를 접촉식 측정기로 관리해 왔습니다. 측정 시에 웨이퍼가 깨지거나 흠집이 생기는 문제가 발생하여, 비접촉식 측정기를 검토했습니다. KEYENCE의 분광 간섭식 레이저 변위 센서 SI-R 시리즈를 채택함으로써 웨이퍼를 손상시킬 우려가 사라졌습니다. 헤드도 작아 장비 내에 설치하여 웨이퍼의 두께를 지속적으로 모니터링하고 있습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 분광 간섭식 레이저 변위 센서 SI-R 시리즈는 Si를 비롯하여 GaAs, SiC, InP, a-Si 등의 반도체를 투과할 수 있는 근적외 SLD를 채택했습니다. 따라서 BG 테이프가 부착된 상태라도 웨이퍼의 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다.
면 두께에 마이크로미터를 사용한 샘플링 검사를 실시했습니다. 면이 부드럽기 때문에 접촉압의 영향을 받아 작업자에 따라 측정 결과에 편차가 발생했습니다. KEYENCE의 레이저 변위 센서 CL 시리즈를 채택함으로써 인라인에서 두께를 관리할 수 있게 되었습니다. 물론 비접촉식 측정이므로 작업자에 따른 편차 문제도 해결되었습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 면의 두께 측정은 채택 실적이 매우 많은 용도입니다. 면의 제조 공정은 분말이 공기 중에 떠다니는 환경이므로 측정값을 안정시키는 것이 핵심입니다. 레이저 변위 센서 CL 시리즈는 돌발적인 값을 무시하는 메디안 필터를 탑재하고 있으므로 분말의 영향을 받지 않고 안정적으로 측정할 수 있습니다.
적층 모터 코어는 적층 장수에 따라 성능이 달라지므로 규정된 장수가 확실하게 세팅되어 있는지 육안으로 검사했습니다. KEYENCE의 레이저 변위 센서 CL 시리즈를 사용하여 인라인에서 두께를 측정함으로써 샘플링 검사를 자동화할 수 있었습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 두께 측정을 통해 코어가 규정된 장수 범위 이내인지 판정하기 위해서는 미크론 단위의 측정 정도가 요구됩니다. 레이저 변위 센서 CL 시리즈는 표면 거칠기의 영향을 최대한 억제하는 쿼드 처리 시스템을 탑재하고 있으므로 어떤 대상 물체든지 인라인에서 고정도로 두께를 측정할 수 있습니다.
글라스 패널의 실란트를 카메라로 검사했습니다. 도포 끊김은 검사할 수 있었지만, 실란트 전도를 검사해야 했기에 KEYENCE의 2D 레이저 변위 센서 LJ 시리즈를 도입했습니다. 디스펜서에 센서 헤드를 고정하여 도포 끊김 외에 두께 및 폭, 단면적 등을 측정할 수 있었습니다.
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채택해주셔서 감사합니다. 2D 레이저 변위 센서 LJ 시리즈는 세계 최고 수준의 샘플링 속도가 특징입니다. 고속으로 디스펜서를 제어하는 경우에도 협피치를 측정할 수 있으므로 실란트 불량을 방지할 수 있습니다.
